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반도체 웨이퍼 SiC 패들
반도체 및 태양전지 확산로용 SiC 캔틸레버 패들 웨이퍼 이송 도구 반도체 및 태양전지 확산로용 SiC 캔틸레버 패들 웨이퍼 이송 도구

반도체 및 태양전지 확산로용 SiC 캔틸레버 패들 웨이퍼 이송 도구

SiC 캔틸레버 패들반도체/태양광 실리콘이 담긴 웨이퍼 보트를 확산로로 옮겨 코팅하는 데 중요합니다.
  • 제품 번호. :

    CS-SIC-XJ1001
  • Material : SiC

  • 기술

탄화규소캔틸레버 패들의 특성



  1. 극한의 온도 저항: 당사의 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들은 최대 1600°C의 온도를 견딜 수 있어 5년 이상의 수명 동안 뛰어난 열 충격 저항을 제공합니다.

  2. 경량 및 내구성: 높은 굽힘 강도와 고온 지지력을 갖춘 경량 구조로 로딩 시스템의 크기와 무게를 최소화하여 단일 배치 생산의 생산량을 향상시킵니다.

  3. 열 안정성 및 유지 관리가 필요 없음: LPCVD 코팅과 유사하게 열팽창 계수가 최소화되어 LPCVD 응용 분야에 사용할 때 유지 관리 및 세척 주기가 크게 연장됩니다.



실리콘 카바이드의 응용 캔틸레버 패들


태양전지 제조반도체 웨이퍼 생산에 필수, 당사의 SiC 캔틸레버 패들은 1000-1300°C 범위의 온도에서 확산로에서 태양광 실리콘 웨이퍼와 반도체 웨이퍼를 운반하는 데 탁월합니다.


SiC 캔틸레버 패들 맞춤형 디자인

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