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SiC 웨이퍼 캐리어 보트
반도체 및 태양전지 확산로 핸들링을 위한 SiC 웨이퍼 캐리어 보트 반도체 및 태양전지 확산로 핸들링을 위한 SiC 웨이퍼 캐리어 보트

반도체 및 태양전지 확산로 핸들링을 위한 SiC 웨이퍼 캐리어 보트

SiC 웨이퍼 보트는 반도체 및 광전지 생산에서 <4코팅 처리<5를 위해 웨이퍼를 확산로로 운반하는 데 필수적입니다.
  • 제품 번호. :

    CS-SIC-J1001
  • Material : SiC

  • 기술

실리콘 카바이드웨이퍼 캐리어 보트의 특성



  1. 고온 저항: 당사의 SiC 웨이퍼 보트는 최대 1600°C의 온도를 견디며 내열 충격성이 뛰어나 5년 이상의 수명을 보장합니다.

  2. 고순도 & 불순물 없음: 고순도 SiC를 사용하여 불순물 유입을 방지하고 장비 오염을 줄이며 제품 품질을 향상시킵니다.

  3. 경량 및 내구성: 높은 굽힘 강도와 고온 지지력을 갖춘 경량 구조로, 로딩 시스템 크기를 최소화하여 단일 배치 생산 생산량을 높입니다.

  4. 열 안정성 및 유지 관리가 필요 없음: LPCVD 코팅과 유사한 최소 열팽창 계수로 LPCVD 응용 분야에 사용할 경우 유지 관리 및 세척 주기가 크게 연장됩니다.




실리콘 카바이드의 응용 웨이퍼 캐리어 보트


광전지반도체 웨이퍼 제조에 이상적인 당사의 SiC 웨이퍼 보트는 1000~1300°C 온도 범위의 확산로에서 태양광 실리콘 웨이퍼와 반도체 웨이퍼를 운반하는 데 탁월합니다.


SiC 웨이퍼 캐리어 보트 맞춤형 설계

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